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1.硅烷氮气混合气产品介绍:

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2.硅烷氮气混合气常见用途:

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设备参数

浦江硅烷氮气混合气技术参数表格

气体

纯度

杂质含量(ppm)

钢瓶

阀门

备注

5%SiH4+N2

99.9999%

H2=0。1, O2=<0。2, CO=<0。1, CO2=<0。1, THC=<0。1, H2O=<0。5

48。8

DISS632

4.8m3/瓶

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