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1.电子级氮气简介:

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2.电子级氮气常见用途:

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设备参数

浦江高纯氢技术参数表格

气体

纯度

杂质含量(ppm)

钢瓶

阀门

备注

200ppm SiH4+H2

99.9999%

N2=0.4, O2=<0.2, CO=<0.1, CO2=<0.1, THC=<0.1, H2O=<0.5

48.8

DISS632

4。8m3/瓶

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